江一舟研究员与中国科学院长春应用化学研究所季生象研究员团队合作在Macromolecules发表关于新型3D化学图案的制备及其引导嵌段共聚物密度倍增的研究论文
2023年7月26日,江一舟研究员与中国科学院长春应用化学研究所季生象研究员团队合作,在高分子领域期刊Macromolecules(中科院一区,IF:5.5)发表了题为“A Universal Approach to Fabricating 3D Chemical Patterns for Directed Self-assembly of Block Copolymers with Density Multiplication”的研究论文。该研究论文基于光刻技术和等离子氧化手段,开发了一种通用且与当前晶圆加工厂兼容的新型3D化学纳米图案及相应的密度...